단국대학교, 학부서 반도체 공정 익힌다...'클린룸' 개관해

[이미지 촬영=대한민국청소년기자단 박민석 대학생기자]

단국대학교는 지난해 교육부와 한국연구재단이 주관하는 첨단분야 혁신융합대학 반도체소부장 분야 참여대학에 선정된 후 반도체 전문인력 양성을 목표로 융합반도체공학과 신설 및 클린룸을 구축했다. 반도체 전용 클린룸은 지난달 구축이 완료된 것으로 알려졌다.

반도체소부장 사업은 성균관대(주관), 단국대, 전북대, 경상국립대, 영진전문대가 참여하고 4년간 총 408억 원을 지원받아 연간 약 1000명의 반도체 소재·부품·장비 분야 인재를 양성한다는 목적으로 현재 사업 2년차에 접어들고 있다. 사업단에는 5개 대학 149명의 교원과 105개의 반도체 관련 기업이 참여해 소재, 부품·장비, 패키징·테스트 등 3개의 전공트랙을 구성하고 70개의 교과목이 개설되어 있다.

이번 단국대학교 죽전캠퍼스 대학원동에 신설 구축된 반도체 클린룸(DKU Cleanroom)은 면적 673.6㎡ 규모의 반도체 전용 클린룸으로 US FED STD 209E 기준 100~1000의 클래스를 충족하는 클린룸으로 구축됐다. 클래스 구분은 1입방피트의 공기중에 0.5㎛이하의 먼지의 개수로 평가한다.

[이미지 촬영=대한민국청소년기자단 박민석 대학생기자]

단국대는 이번 반도체 전용 클린룸 구축을 통해 Photolithography 공정부터 Etching, Ion Implantation, Deposition, EDS 등 반도체 제작에 있어 필수적인 8대 공정들을 해당 센터 안에서 진행할 수 있게 됐다. 이 공정들을 수행할 수 있도록 PE-CVD, T-CVD, RTA, Bakeoven 장비 등 반도체 공정에 사용되는 수 많은 장비가 마련됐다.

단국대학교 관계자는 "앞으로 해당 클린룸을 활용하여 다양한 반도체 관련 연구 진행 및 반도체 전문인력 양성이 진행될 계획"이라고 밝혔다.

[대한민국청소년기자단 IT과학부=8기 대학생기자 박민석]